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- 產(chǎn)品名稱：UL1000 Fab干式氦氣檢漏儀
- 產(chǎn)品型號(hào)：UL-1000
- 產(chǎn)品價(jià)格：0.00 元
- 折扣價(jià)格：0.00 元
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簡單介紹
UL1000 Fab干式氦氣檢漏儀
UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借**環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測(cè)量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)
產(chǎn)品描述
UL1000 Fab干式氦氣檢漏儀 氣體檢測(cè)儀
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UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣 檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借**環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測(cè)量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。
通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的*佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的****的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。**軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
使用額外的 TC1000 測(cè)試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、**的測(cè)試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。
功能
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15 級(jí)的寬測(cè)量范圍
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較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
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移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有**可操作性
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I-CAL 確保了在所有測(cè)量范圍中提供*快的泄漏響應(yīng)時(shí)間
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抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果
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含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
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旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
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自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
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自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測(cè)試
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通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
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含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
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內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測(cè)試漏孔確保了**的測(cè)試結(jié)果
典型應(yīng)用
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對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
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需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用
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在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏
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工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
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內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用 TC1000 測(cè)試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測(cè)試
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類型
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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<5E-12
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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<5E-12
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氦氣（吸**式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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8E-8
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GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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15
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FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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0.4
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抽真空期間的抽氣能力
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m3/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max. 8
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FINE 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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7
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ULTRA 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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2.5
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可檢測(cè)質(zhì)量數(shù)
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2,3,4 amu
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質(zhì)譜儀扇形場(chǎng)
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180°
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燈絲離子源銥/氧化釔涂層
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2
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內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔
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mbar?L/s
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e-7
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測(cè)試端口
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DN 25 KF
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1
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可調(diào)觸發(fā)器
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2
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接口
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RS 232
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圖形記錄器輸出
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V
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2 x10
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輸入/輸出
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PLC compatible
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允許的環(huán)境溫度（操作過程中）
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°C
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+10.....+40
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保護(hù)類型
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IP 20
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重量
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110
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尺寸（長x寬x高）
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1068x525x850
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電源電壓
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V (ac)
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230 (+-10% )50Hz
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電源電壓
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V (ac)
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230 (+-10% )50Hz
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電源電壓
|
V (ac)
|
230 (+-10% )50Hz
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功耗
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VA
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1100
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FZ-VSL FZ-VSJ FZ-VM FH-VMRGB MKX-10 MKX-11 FZ-VP FZ-VPX XW2Z-S013 MKX-10A MKX-8 MKX-8A XS6W-6LSZH8SS□CM-Y XS5W-T421-□MD-K XS5W-T421-□MC-K XS5W-T422-□MC-K MX-5 KETH-SB FAE-5004 MPS588-C KETH-PSB-OMR XS6G-T421-1 F-LINK-E MPS588 FZ-M08 FZ-MEM2G FZ-MEM8G HMC-SD291 HMC-SD491 FZ-VESA FZ-DS FZ-DU GX-JC03 MST-220BLC GX-JC06 W4S1-03B W4S1-05B W4S1-05C SYSMAC-SE200D
